Semiconductor Wafer-Endeffektor

Unser berührungsloser End-Effector nutzt die Ultraschalllager-Technologie und kann auf jedem gewöhnlichen Wafer-Handling Roboter installiert werden. Das System kann in jeder atmosphärischen Anwendung (kein Vakuum) eingesetzt werden. Das Ultraschalllager erzeugt einen tragenden Gasfilm (Luft oder Prozessgas) zwischen seiner Oberfläche und dem Substrat. Damit wird mechanischer Kontakt vermieden. Der Wafer schwebt auf einem Gasfilm-Kissen.

Das Substrat schwebt reibungsfrei auf dem Ultraschalllager in einer Höhe von 100 μm. Hierfür sind 4 Seitenbegrenzungs-Pins (davon 2 beweglich) erforderlich um die seitliche Beschleunigung vom Roboter auf den Wafer zu übertragen.

Das Substrat wird von diesen Pins nur fixiert, nicht eingeklemmt.Die Abmaße passen auf standard Waferkassenten (SEMI kompatibel).