Glas-Großflächenfördersystem

Unsere Handhabungssysteme nutzen die Ultraschalllager-Technologie und können in jeder atmosphärischen Anwendung (kein Vakuum) eingesetzt werden. Das Ultraschalllager erzeugt einen tragenden Gasfilm (Luft oder Prozessgas) zwischen seiner Oberfläche und dem Substrat. Damit wird mechanischer Kontakt vermieden. Das Substrat schwebt auf einem Gasfilm in einer Höhe von 50-500 μm.

Modulares Design

Die berührungslosen Großflächenfordersysteme ermöglichen einen schonenden und reibfreien Transport der Substrate. Die Systeme sind als Module designed, welche zu Anordnungen in beliebiger Breite und Länge aneinandergereiht werden können.

Beidseitige Substratinspektion

Wir bieten zwei Herangehensweisen für die beidseitige Inspektion der Substrate an:

Sektionierung des Transfersystems

mit Spalten bis 20 mm. Diese Entfernung kann von den Substraten leicht überwunden werden, während die Inspektion durch den Spalt erfolgt.

(z.B. durch optische Sensoren, Linienkameras)

Einsatz von Glas für das Transfersystem

Das Substrat kann optisch durch das Transfersystem hindurch untersucht werden.