
Häufig gestellte Fragen
- Unsere Handhabungswerkzeuge benötigen lediglich eine elektrische Energieversorgung und ggf. einen Vakuumanschluss (Unterdruck).
- Durch die Vermeidung von Oberflächenkontakt entstehen keine Beschädigungen, Mikrokratzer, Mikrorisse oder Verunreinigungen.
- Unsere Systeme erzeugen kaum Verwirbelungen in der Luft, da keine zusätzliche Luft für das Luftlager eingebracht wird, daher ist sind unsere Systeme gut geeignet für Reinräume.
- Die Betriebskosten sind sehr gering, da keine Luftbereitstellung und -aufbereitung erfolgen muss, wie bei herkömmlichen Luftlagern.
- Der Wartungsaufwand ist gering.
- Über die Steuerung können die Systeme sehr gut und einfach überwacht werden.
- Das Prinzip funktioniert mit den meisten Prozessgasen.
- Hohe Ebenheit des Substrats während der Handhabung und Glattziehen von dünnen Materialien.
- Das Handling an bearbeiteten oder beschichteten Oberflächen ist auch von oben berührungslos möglich.
- Es werden mehr Freiheitsgrade für das Prozess- und Maschinendesign ermöglicht.